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氦质谱检漏仪系列
ZD-830 氦质谱检漏仪
ZD-830 氦质谱检漏仪采用标准台式机箱与全液晶触摸彩屏，外形美观实用，检漏口耐压高，检测量程宽，适合新能源、真空、镀膜、新材料、阀门、通用机械、电子器件以及科研院所等场景。
适用场景
模块式氦质谱检漏单元
产品特色
ZD-830 产品特点
全液晶触摸彩屏，操作方便。
标准台式机箱，外形美观实用。
检漏口耐压高，适合多类工件接入。
检测量程宽，横跨 10 个量级。
检测值可存储，便于过程记录。
检漏状态支持一键清零。
支持中英文菜单界面。
规格参数
ZD-830 规格参数
以下参数根据当前型号资料整理，实际项目配置需结合工件结构、泄漏率指标、检测节拍和现场条件确认。
最小可检漏率5×10^-13 Pa·m3/s
漏率显示范围1×10^-3 ～ 1×10^-13 Pa·m3/s
启动时间≤3 min
响应时间≤0.5 s
检漏口最高压力1500 Pa
机械泵抽速3 L/s
电源要求220V，50Hz，单相，10A
工作环境5-35 ℃
相对湿度≤80%
外形尺寸550(W) × 450(D) × 880(H) mm
重量60 kg
主要配置
ZD-830 核心部件
核心部件与品牌型号如下，最终供货范围以项目配置和报价确认为准。
分子泵（可选）德国莱宝多口复合型分子泵（Turbovac90）
前级泵优成 TRP-12
电磁阀日本 CKD / FZ-30
放大器进口 AD 放大器（LMC6041IN）
真空计国产 ZJ-54D
标准漏孔-8 数量级（含第三方校验证书）
离子源双铱丝，表面涂覆氧化钇，公司专利自研
检漏方法
常用检漏方法介绍
不同工件、泄漏率指标和现场环境会影响检漏方法选择，以下为常用方法的操作逻辑和注意事项。
真空法（喷氦法）
操作流程
- 将仪器接入 AC220V/50Hz 且接地良好的电源。
- 启动仪器，进入待机状态。
- 将工件通过工装与检漏仪检漏口连接完好。
- 按下开始按钮，仪器进入检漏状态。
- 待本底值低于合格值并稳定后，对待检位置喷氦。
- 如工件泄漏，仪器会报警或界面提示不合格；无明显泄漏则判定合格。
- 检漏完成后停止检测并卸下工件。
检漏说明
- 适合抽真空喷氦检漏。
- 检漏精度高，受环境影响较小。
- 氦气用量相对较小。
- 检漏前应确认真空模式、报警值，并使用计量后的标准漏孔校准。
吸枪法（正压法）
操作流程
- 将仪器接入 AC220V/50Hz 且接地良好的电源。
- 将工件充入指定压力的正压氦气。
- 将吸枪探头与检漏仪连接完好。
- 按下开始按钮，仪器进入检漏模式。
- 待仪器本底稳定后，用吸枪探头在需要检漏处探测。
- 当工件泄漏时，内部氦气被吸枪捕获，仪器报警并提示不合格。
- 检测完成后停止检测，并将工件泄压。
检漏说明
- 适合工件充氦后的外部探测。
- 受环境影响较大，氦气用量较大。
- 检漏前应确认吸入法检漏模式，并完成空气定标或正压漏孔标定。
- 检测完成后的氦气排放不宜靠近检测区域，以免影响下次检测。
服务内容
验收、培训与售后服务
验收与培训
所供设备应符合出厂质量标准；交付时可对操作人员进行操作、维修和保养培训，帮助客户建立基础使用与维护流程。
售后服务
设备整机质保 1 年，离子源质保 3 年（不当操作和人为因素除外）。保修期满后如设备发生故障，上海卓迪可提供维护支持，零部件按优惠价格供应。用户报修后电话 1 小时响应，并根据现场情况安排维修支持。
获取检测方案与技术资料
上海卓迪可围绕工件结构、泄漏率指标、检测节拍和现场条件，提供设备选型建议、参数确认、工装夹具规划、真空系统配置和现场交付方案沟通。
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